剥离液
光阻为一间接材料,意即不会留在产品上,因此做完Mask角色后,就必须将它移除。
黄光后的制程,如:蚀刻或是电镀,光阻都被视为hard mask使用。
Stripper的选择除了对光阻的蚀刻率之外,同时间也必须考虑到对其他材料如电镀后的金属层,底材等蚀刻率
品名 | 应用 | 特性 |
SBS-300 | 光阻剥离液 | 1. SBS-300为一系列的光阻剥离液。 2. 包含了常用的NMP或DMSO为基底,再添加应用于各不同需求的添加剂,以符合客户的需求。 |
光阻为一间接材料,意即不会留在产品上,因此做完Mask角色后,就必须将它移除。
黄光后的制程,如:蚀刻或是电镀,光阻都被视为hard mask使用。
Stripper的选择除了对光阻的蚀刻率之外,同时间也必须考虑到对其他材料如电镀后的金属层,底材等蚀刻率
品名 | 应用 | 特性 |
SBS-300 | 光阻剥离液 | 1. SBS-300为一系列的光阻剥离液。 2. 包含了常用的NMP或DMSO为基底,再添加应用于各不同需求的添加剂,以符合客户的需求。 |